半导体硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料。在众多半导体原材料中,硅具有明显的优势,硅熔点高、禁带宽度大,可广泛运用于高温、高压器件。此外,硅具有天然优质绝缘氧化层,在晶圆制造时可减少沉积绝缘体工序, 从而减少了生产步骤并降低了生产成本。
半导体产业的基石
半导体硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料。在众多半导体原材料中,硅具有明显的优势,硅熔点高、禁带宽度大,可广泛运用于高温、高压器件。此外,硅具有天然优质绝缘氧化层,在晶圆制造时可减少沉积绝缘体工序, 从而减少了生产步骤并降低了生产成本。硅在自然界中的储量丰富,在地壳中约占 27%,硅材料的成本显著低于其他类型半导 体材料。由于硅的技术和成本优势,硅片成为了目前产量最大、应用范围最广的半导体材料,占据全部产品的 90%以上,是半 导体产业链基础性的一环。
硅片生产工艺
半导体硅片的生产流程复杂,涉及工艺众多,主要生产环节包含晶体生长、硅片成型、外延生长等工艺。多晶硅经过熔化,接入籽晶,再通过旋转拉晶或者区域熔融的方式得到高纯度的单晶硅棒。单晶硅棒经过切、磨、抛等步骤形成抛光片,抛光片还可以进一步加工形成外延片。
硅片分类
按照硅片尺寸分类,可分为6英寸及以下硅片、8英寸硅片和12英寸硅片,8英寸硅片和12英寸硅片是市场主流产品。